Vakuum örtük maşını substratın səthinə nazik metal filmləri yatıran bir cihazdır. Onun əsas iş prinsipi üç mərhələyə bölünür: təmizləmə, buxarlanma və çökmə.
1. Təmizləmə
Buxarlanmadan əvvəl buxarlanma kamerası təmizlənməlidir. Buxarlanma kamerasının səthində oksidlər, yağlar, toz və digər maddələr ola biləcəyi üçün bunlar filmin keyfiyyətinə təsir edəcəkdir. Təmizləmə adətən kimyəvi və ya fiziki üsullardan istifadə edir.
2. buxarlanma
İstənilən material ərimə nöqtəsindən yuxarı qızdırılır ki, qaz molekulları əmələ gətirir. Qaz molekulları daha sonra vakuum kamerasında buxarlanma kamerasına atılır. Bu proses buxarlanma adlanır. Temperatur, təzyiq və buxarlanma sürəti filmin tərkibinə, quruluşuna və xüsusiyyətlərinə təsir göstərir.
3. Depozit
Buxarlanma kamerasındakı materialın qaz molekulları vakuum borusu vasitəsilə reaksiya kamerasına daxil olur, aktiv maddə ilə reaksiya verir və sonra məhsulu substratın səthinə yatırır. Bu proses sedimentasiya adlanır. Temperatur, təzyiq və çökmə sürəti də filmin keyfiyyətinə və performansına təsir göstərir.
2. Ərizə
Vakuum örtük maşınları materialşünaslıq, optika, elektronika və digər sahələrdə geniş istifadə olunur.
1. Materialşünaslıq
Vakuum örtük maşınları müxtəlif metallardan, ərintilərdən, oksidlərdən, silikatlardan və digər materiallardan nazik təbəqələr hazırlaya bilər və örtüklərdə, optik filmlərdə, optik saxlamada, displeylərdə, tranzistorlarda və digər sahələrdə geniş istifadə olunur.
2. Optika
Vakuum örtmə maşını yüksək əks etdiriciliyə malik metal və ərinti plyonkaları və xüsusi funksiyalı optik plyonkalar hazırlaya bilər. Bu filmlər günəş panellərində, yüksək performanslı elektron mikroskoplarda, aerojellərdə, UV/İQ sensorlarında, optik filtrlərdə və digər sahələrdə istifadə oluna bilər.
3. Elektronika
Vakuum örtük maşınları nanoölçülü elektron materiallar və mikroelektron cihazlar hazırlaya bilər. Bu filmlər nanotranzistorlarda, maqnit yaddaşlarında, sensorlarda və digər sahələrdə istifadə oluna bilər.
Bir sözlə, vakuum örtmə maşını müxtəlif nazik plyonka materialları hazırlamaqla yanaşı, lazım olduqda xüsusi funksiyalı nazik plyonkalar da hazırlaya bilir. Gələcəkdə vakuum örtük texnologiyası daha geniş istifadə ediləcək və təbliğ ediləcək.
Göndərmə vaxtı: 12 mart 2024-cü il